Тег "генерация тепла электронным зондом"
Аналитика #6/2025
М. Н. Филиппов, М. А. Степович
Термическое воздействие электронного зонда на исследуемый объект в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном микроанализе
10.22184/2227-572X.2025.15.6.432.441 Приведен критический обзор работ по оцениванию термического воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и электронно-зондовом микроанализе. Основное внимание уделено теоретической оценке температуры перегрева анализируемого образца. Рассмотрены два основных направления исследований. Первое включает работы, в основе которых лежит строгое решение краевой задачи для дифференциального уравнения теплопроводности с правой частью, максимально точно описывающей процесс торможения электронов в веществе, а также с применением метода Монте-Карло. Другое направление связано с использованием упрощенных моделей генерации тепла, позволяющих получать аналитические выражения для температуры перегрева. Проведено сопоставление результатов, полученных различными способами.