10.22184/2227-572X.2025.15.6.432.441

Приведен критический обзор работ по оцениванию термического воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и электронно-­зондовом микроанализе. Основное внимание уделено теоретической оценке температуры перегрева анализируемого образца. Рассмотрены два основных направления исследований. Первое включает работы, в основе которых лежит строгое решение краевой задачи для дифференциального уравнения теплопроводности с правой частью, максимально точно описывающей процесс торможения электронов в веществе, а также с применением метода Монте-­Карло. Другое направление связано с использованием упрощенных моделей генерации тепла, позволяющих получать аналитические выражения для температуры перегрева. Проведено сопоставление результатов, полученных различными способами.